Filters voor halfgeleider-productie

Filter voor semiconductors, voor alle processtappen die bij de productie van wafers belangrijk zijn.

Alle standaardmembranen kunnen we leveren:

- hydrofiel PTFE of PVDF

- hydrofoob PTFE

- Nylon 66 of PES

- UPE

De filterkaarsen zijn gemaakt van PP, HDPE of PFA.

De poriegroottes variëren van 1 µm tot 3 nm (0,03 µm).

Cartridgefilters voor:

- Photolithografie

- Wet Etch and Clean

- CMP

- Bulkchemicaliën

- DI- en UPW-water.

Hoewel we de extractables nog steeds definiëren in ppb, streven we naar ppt. Dit zal in de nabije toekomst worden verwezenlijkt, aangezien de klanten in Korea, Japan en Taiwan ppt-waarden verwachten.

Als het gaat om CMP-filters voor CMP-slurries in polishing, is de expertise van onze leverancier CSM ongeëvenaard. Het bedrijf produceert zelf de specifieke polypropyleen meltblown-filtermedia en kan deze configureren, combineren en optimaliseren om ervoor te zorgen dat de CMP-filters van CSM kunnen concurreren met die van elke andere bekende marktleider. De poriegroottes variëren van 40 nanometer (0,04 µm) tot 7 micrometer.

Wij bevelen aan:

• CSM PCP
• CSM UPE
• PTFE