Filtres pour la fabrication des puces

Filtration pour la fabrication de semi-conducteurs dans les processus de production des wafers.

Toutes les membranes standard sont fournies.

- PTFE ou PVDF hydrophile

- PTFE hydrophobe

- Nylon 66

- PES

- UPE

La cartouche est en PP, en HDPE ou en PFA.

Les capacités de séparation vont de 1 µm à 3 nm (0,03 µm).

Notre entreprise est spécialisée dans les filtres à cartouche pour :

- La photolithographie

- Wet etch et nettoyage

- CMP

- Produits chimiques en vrac

- L’eau ultra pure

Bien que nous définissions encore les substances extractibles en ppb, nous travaillons à atteindre en ppt.

Cet objectif sera atteint dans un avenir proche, car les utilisateurs en Corée, au Japon et à Taïwan exigent des valeurs en ppt.

En ce qui concerne les filtres CMP pour les slurry CMP, l'expertise de notre fournisseur CSM est inégalée. Il fabrique en interne des médias filtrants spécifiques en polypropylène melt-blown, qu'il peut configurer, combiner et optimiser afin de garantir que les filtres CMP de CSM puissent rivaliser avec ceux de n'importe quel autre leader du marché. La taille des pores varie de 40 nanomètres (0,04 µm) à 7 micromètres.

Nous recommandons :

• CSM PCP
• CSM UPE
• PTFE